SENSIRION氣體質(zhì)量流量計(jì)適用于多種應(yīng)用的多功能流量計(jì)。
SFM5400質(zhì)量流量計(jì)具有的精度（誤差＜1%）、可重復(fù)性和長期穩(wěn)定性，寬動態(tài)測量范圍。SFM5400由金屬制成，且高度可配置。它采用多種機(jī)械連接和電氣接口，可測量50 sccm和200 slm之間的流量。傳感器信號可在芯片上直接轉(zhuǎn)換成數(shù)字、*校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償?shù)男盘?。多個(gè)氣體校準(zhǔn)可以存儲在一個(gè)器件中。此外，流量計(jì)可以檢查激活的氣體校準(zhǔn)是否與實(shí)際存在氣體相匹配。SFM5400的通用性使它成為工業(yè)和醫(yī)療應(yīng)用的理想解決方案。

SFM5400質(zhì)量流量計(jì)的杰出性能基于創(chuàng)新的CMOSens技術(shù)，它在一個(gè)CMOS硅芯片上集成了高精度傳感元件和信號處理電路。結(jié)合材料，實(shí)現(xiàn)了一個(gè)持久穩(wěn)定、快速和高精度的質(zhì)量流量計(jì)。

SFM5400質(zhì)量流量計(jì)是SFC5400質(zhì)量流量控制器的無閥門版本。SFC5400質(zhì)量流量控制器與質(zhì)量流量計(jì)具有相同的性能特性，并適用于類似的應(yīng)用，這兩個(gè)產(chǎn)品可以結(jié)合在一起。在SFC5400 網(wǎng)站，你可以找到關(guān)于質(zhì)量流量控制器的進(jìn)一步信息和詳細(xì)規(guī)格。

SENSIRION流量計(jì)SFM5400性能參數(shù)
高精度、低流量（< 1 sccm）
優(yōu)良的精度/可重復(fù)性（分別為測量值的0.8% / 0.1%）
寬動態(tài)范圍（量程比1000:1）
多氣體和氣體識別
數(shù)字和模擬接口
柔性機(jī)械連接選項(xiàng)：down mount、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等
高度可配置
MTBF169年-無需再校準(zhǔn)

SENSIRION流量計(jì)SFM5400應(yīng)用
分析儀器（如氣相色譜、質(zhì)譜、熱分析）
醫(yī)療器械（如呼吸機(jī)、麻醉機(jī)）
工業(yè)過程自動化（如涂覆、熱處理）
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)（如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）

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